Study of laser bonding of silicon to diamond for silicon-on-diamond technology

Year: 2009

Authors: Lagomarsino S., Parrini G., Sciortino S., Citroni M., Fossati A., Gorelli F., Molesini G., Santoro M., Vannoni M., Scorzoni A.

Autors Affiliation: INFN Firenze; Dipartimento di Energetica, Università di Firenze; Dipartimento di Fisica, Università di Firenze; LENS, Firenze; Dipartimento di Ingegneria Civile, Università di Firenze; CNR-INFM CRS-SOFT, c/o Università “La Sapienza”, Roma; CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Firenze; INFN Perugia; Dipartimento di Ingegneria Elettronica e Informazione, Università di Perugia

Journal/Review:

KeyWords: Diamond; laser bonding;