Scientific Results

Microscopio olografico a ricostruzione numerica per la diagnostica di strutture MEMS/MOEMS

Year: 2004

Authors: Ferraro P., Grilli S., Alfieri D., De Nicola S., Finizio A., Pierattini G., Coppola G., Iodice M.

Autors Affiliation: Istituto Nazionale di Ottica Apllicata, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy;
Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi del CNR, Via Pietro Castellino 111, 80134, Napoli, Italy;
Istituto di Cibernetica “E. Caianiello” del CNR, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy

Conference title: Elettroottica 2004: 8. Convegno nazionale “Strumentazione e metodi di misura elettrottici”
Place: Pavia

KeyWords: Olografia digitale

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