Procedura INOA-GP005/P: campione di planarità di seconda linea, diametro 150 mm – Rev. 0
Year: 2008
Authors: Vannoni M., Molesini G.
Autors Affiliation: CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata
Journal/Review: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
KeyWords: Metrologia