Microscopio olografico a ricostruzione numerica per la diagnostica di strutture MEMS/MOEMS
Year: 2004
Authors: Ferraro P., Grilli S., Alfieri D., De Nicola S., Finizio A., Pierattini G., Coppola G., Iodice M.
Autors Affiliation: Istituto Nazionale di Ottica Apllicata, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy;
Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi del CNR, Via Pietro Castellino 111, 80134, Napoli, Italy;
Istituto di Cibernetica “E. Caianiello” del CNR, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy
Conference title: Elettroottica 2004: 8. Convegno nazionale “Strumentazione e metodi di misura elettrottici”
Place: Pavia
KeyWords: Olografia digitale