Study of laser bonding of silicon to diamond for silicon-on-diamond technology

Anno: 2009

Autori: Lagomarsino S., Parrini G., Sciortino S., Citroni M., Fossati A., Gorelli F., Molesini G., Santoro M., Vannoni M., Scorzoni A.

Affiliazione autori: INFN Firenze; Dipartimento di Energetica, Università di Firenze; Dipartimento di Fisica, Università di Firenze; LENS, Firenze; Dipartimento di Ingegneria Civile, Università di Firenze; CNR-INFM CRS-SOFT, c/o Università “La Sapienza”, Roma; CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Firenze; INFN Perugia; Dipartimento di Ingegneria Elettronica e Informazione, Università di Perugia

Giornale/Rivista:

Parole chiavi: Diamond; laser bonding;