Maschere litografiche e diapositive digitali per la fabbricazione a basso costo di elementi ottici diffrattivi

Anno: 1999

Autori: Fontani D., Francini F., Sansoni P.

Affiliazione autori: Istituto Nazionale di Ottica, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy;
CEO, Firenze, Italy

Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS

Parole chiavi: optical metrology; optical diffraction;