Scientific Results

Maschere litografiche e diapositive digitali per la fabbricazione a basso costo di elementi ottici diffrattivi

Year: 1999

Authors: Fontani D., Francini F., Sansoni P.

Autors Affiliation: Istituto Nazionale di Ottica, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy;
CEO, Firenze, Italy

Journal/Review:

KeyWords: optical metrology; optical diffraction;