Misura di film ultrasottili in aria con la tecnica dell’interferometria a scorrimento di fase

Anno: 1994

Autori: Greco V., Iemmi C., Ledesma S., Molesini G., Quercioli F.

Affiliazione autori: Istituto Nazionale di Ottica, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy

Titolo Convegno: 3° Convegno Nazionale “Strumentazione e Metodi di Misura Elettroottici” (Elettroottica ’94)
Luogo: Pavia

Parole chiavi: Interferometria; metrologia ottica;